3.12

標準狀態(tài) standard condition

溫度為273.15K、壓力為101 325 Pa 時的狀態(tài)。本標準規(guī)定的大氣污染物排放濃度限值均以標準狀態(tài)下的干氣體為基準。

3.13

企業(yè)邊界 enterprise boundary

指半導體工業(yè)企業(yè)的法定邊界。若難以確定法定邊界，則指企業(yè)的實際占地邊界。

4 水污染物排放控制要求

4.1 水污染物排放限值見表1。

4.2 企業(yè)向城鎮(zhèn)污水處理廠排放廢水時，其第二類水污染物排放應達到表1中間接排放限值；廢水進入具備處理此類污水工藝和能力的集中式工業(yè)廢水處理廠的企業(yè)，其第二類水污染物排放可與集中式工業(yè)污水處理廠商定間接排放限值，并簽訂協(xié)議報當地環(huán)境保護主管部門備案。企業(yè)與集中式工業(yè)廢水處理廠商定的間接排放限值，不得寬于《污水綜合排放標準》中規(guī)定的接管限值。未簽訂協(xié)議的企業(yè)，其第二類水污染物執(zhí)行表1中的間接排放限值。

4.3在國土開發(fā)密度高、環(huán)境承載能力開始減弱，或水環(huán)境容量較小、生態(tài)環(huán)境脆弱，容易發(fā)生嚴重水環(huán)境污染問題而需要采取特別保護措施地區(qū)的企業(yè)，根據生態(tài)環(huán)境保護工作要求，執(zhí)行表1規(guī)定的特別排放限值。

執(zhí)行水污染物特別排放限值的地域范圍、時間，由省級生態(tài)環(huán)境主管部門或設區(qū)市人民政府規(guī)定。

4.4不同類型的半導體生產企業(yè)，其單位產品基準排水量執(zhí)行表2規(guī)定。

4.5水污染物排放限值適用于單位產品實際排水量不高于單位產品基準排水量的情況。若單位產品實際排水量超過單位產品基準排水量，應按公式（1）將實測水污染物濃度換算為水污染物基準水量排放濃度，并以水污染物基準水量排放濃度作為判定排放是否達標的依據。產品產量和排水量統(tǒng)計周期為一個工作日。

在企業(yè)的生產設施同時生產兩種以上產品，可適用不同排放控制要求或不同行業(yè)污染物排放標準時，且生產設施產生的污水混合處理排放的情況下，應執(zhí)行排放標準中規(guī)定的最嚴格的濃度限值，并按公式（1）換算水污染物基準水量排放濃度：

5 大氣污染物排放控制要求

5.1 有組織排放控制要求

5.1.1 大氣污染物排放限值見表3。 

5.1.2 廢氣收集處理系統(tǒng)應與生產工藝設備同步運行。廢氣收集處理系統(tǒng)發(fā)生故障或檢修時，對應的生產工藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；生產工藝設備不能停止運行或不能及時停止運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他替代措施。

5.1.3 進入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣含氧量可滿足自身燃燒、氧化反應，不需另外補充空氣的（燃燒器需要補充空氣助燃的除外），以實測濃度作為達標判定依據，但裝置出口煙氣含氧量不得高于裝置進口廢氣含氧量。

吸附、吸收、冷凝、生物、膜分離等其他VOCs處理設施，以實測濃度作為達標判定依據，不得稀釋排放。

進入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣需要補充氧氣（空氣）進行燃燒、氧化反應的，排氣筒中實測大氣污染物排放濃度，應按公式（2）換算為基準含氧量為3%的大氣污染物基準排放濃度。

5.1.4 排放氯氣、氰化氫的排氣筒高度不低于25m，其他排氣筒高度不低于15m（因安全考慮或由特殊工藝要求的除外），具體高度以及與周圍建筑物的距離應根據環(huán)境影響評價文件確定。

5.1.5 當執(zhí)行不同排放控制要求的廢氣合并排氣筒排放時，應在廢氣混合前進行監(jiān)測，并執(zhí)行相應的排放控制要求；若可選擇的監(jiān)控位置只能對混合后的廢氣進行監(jiān)測，則應按各排放控制要求中最嚴格的規(guī)定執(zhí)行。

5.2 無組織排放控制要求

企業(yè)邊界大氣污染物任何1小時平均濃度執(zhí)行表4 規(guī)定的限值。

6 污染物監(jiān)測要求

6.1 污染物監(jiān)測的一般要求

6.1.1 企業(yè)應按照《環(huán)境監(jiān)測管理辦法》等規(guī)定，建立企業(yè)監(jiān)測制度，制定監(jiān)測方案，對污染物排放狀況及其對周邊環(huán)境質量的影響開展自行監(jiān)測，保存原始監(jiān)測記錄，并公布監(jiān)測結果。

6.1.2 企業(yè)安裝污染源排放自動監(jiān)控設備的要求，按有關法律和《污染源自動監(jiān)控管理辦法》的規(guī)定執(zhí)行。

6.1.3 企業(yè)應按照環(huán)境監(jiān)測管理規(guī)定和技術規(guī)范的要求，設計、建設、維護永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標志。

6.1.4 對企業(yè)排放的廢水和廢氣的采樣，應根據監(jiān)測污染物的種類，在規(guī)定的污染物排放監(jiān)控位置進行。有廢水、廢氣處理設施的，應在該設施后監(jiān)控。

6.2 水污染物監(jiān)測要求

6.2.1 水污染物的監(jiān)測采樣按HJ/T 91、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的規(guī)定執(zhí)行。

6.2.2 對企業(yè)排放水污染物濃度的測定采用表5所列的方法標準。

6.2.3 本標準發(fā)布實施后，表5所列污染物如有新發(fā)布的國家環(huán)境監(jiān)測分析方法標準，其方法適用范圍和條件相同的，也適用于本排放標準對應污染物的測定。

編輯：李丹